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肖圓(女士)
普通會(huì)員
肖圓 (女士)
油擴(kuò)散泵是高真空系統(tǒng)經(jīng)常使用的泵種，采取某些技術(shù)措施，可以獲得超高真空，其方法有：
1、選用性能好的擴(kuò)散泵油
泵油對(duì)油擴(kuò)散泵極限壓力的影響很大。如使用3號(hào)擴(kuò)散泵油，其極限壓力只能達(dá)到10^-5pa;而改用275硅油，其極限壓力能達(dá)到10^-7pa，極限壓力提高2個(gè)數(shù)量級(jí)。其次被抽氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化，這就是泵油成分帶來(lái)的影響。為此用油擴(kuò)散泵獲得超高真空，必須選擇性能好的擴(kuò)散泵油。對(duì)擴(kuò)散泵油的要求是：泵油的相對(duì)分子量要大，常溫下的蒸氣壓要低，熱穩(wěn)定性和抗氧化性要好，凝固點(diǎn)和低溫粘度要低，要無(wú)毒，耐腐蝕，成本要低。
現(xiàn)在高真空油擴(kuò)散泵普遍采用3號(hào)擴(kuò)散泵油，超高真空采用硅油，要求不含碳?xì)浠衔锏某哒婵障到y(tǒng)，擴(kuò)散泵采用氟油。
2、采用合理的烘烤技術(shù)
用油擴(kuò)散泵獲得超高真空系統(tǒng)都要進(jìn)行高溫烘烤，目的是減少材料的出氣速率。材料在大氣下都能吸收和吸附一些氣體，當(dāng)處于真空中時(shí)，便產(chǎn)生解吸，使氣體緩慢地釋放出來(lái)，為了加速解吸，采用烘烤。
材料不同，選擇的烘烤溫度也不同。原則是溫度高一些好，可以加速出氣，但還要考慮到材料是否能經(jīng)受得住高溫。烘烤溫度要選擇合適。通常金屬材料，如不銹鋼，烘烤溫度為250℃—450c;非金屬材料烘烤溫度為80℃—100℃。烘烤時(shí)間4h—8h以上。極高真空的烘烤時(shí)間在24h以上。典型金屬油擴(kuò)散泵系統(tǒng)(烘烤后)的性能和金屬油擴(kuò)散泵超高真空系統(tǒng)中剩余氣體組分。
凱諦牌擴(kuò)散泵油有較低的飽和蒸汽壓，在蒸汽流的作用下，可以獲得較高的真空，較窄的餾分，提高了抽氣速度，降低了設(shè)備運(yùn)行成本。擴(kuò)散泵油優(yōu)良的熱安 定性和氧化安 定性，保證了油品在泵腔內(nèi)持續(xù)加熱汽化，噴射，冷卻的過(guò)程而不變質(zhì)。油蒸汽遇冷迅速冷卻回流，降低擴(kuò)散泵油必須在機(jī)械真空泵的配合下進(jìn)行工作，使用前將擴(kuò)散泵洗凈、烘干，然后把真空硅油或其它低蒸氣壓油從彎管管口注入，但不能直接往泵口里倒油，而是取一長(zhǎng)管漏斗并插入泵口內(nèi)使油從漏斗倒入泵內(nèi)，以防有油積存在捕集器內(nèi)。用油量可按不同規(guī)格大小而定，一般有回油管的泵，以油剛沒(méi)過(guò)回油管的下口為宜；沒(méi)有回油管的泵以剛沒(méi)過(guò)最高的一個(gè)缺口為宜。油量裝的過(guò)多或過(guò)少均會(huì)使泵的性能降低。把泵頂端的支管直接與玻璃系統(tǒng)焊接并用鐵架固定，彎管的出口嘴用真空橡皮管與機(jī)械泵連接，在擴(kuò)散泵與機(jī)械泵之間最好加用一只安 全瓶和一只真空活塞，便于氣流控制和防護(hù)。
凱諦牌擴(kuò)散泵油適用于各型號(hào)金屬或玻璃擴(kuò)散泵。應(yīng)用在真空鍍膜（光電、電子、裝飾）、真空冶煉等行業(yè)更出色。
注意事項(xiàng)
1、應(yīng)密封存放，不準(zhǔn)混入其它油類(lèi)，水分和雜質(zhì)；
2、換油時(shí)應(yīng)對(duì)擴(kuò)散泵內(nèi)用120號(hào)溶劑 汽油進(jìn)行清洗，然后烘干再按規(guī)定量加入擴(kuò)散泵油；
3、加入新油后若極限壓強(qiáng)或抽氣速度達(dá)不到要求，應(yīng)檢查真空系統(tǒng)是否漏氣，各噴嘴裝配是否正確，前級(jí)真空泵，鍋爐加熱電壓，檢測(cè)規(guī)管，儀表及導(dǎo)線(xiàn)等是否正常。
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